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在覆盖金属钛层的陶瓷上，利用微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）法制备出类球状微米金刚石聚晶薄膜。利用扫描电子显微镜、拉曼光谱、X射线衍射，分析了薄膜的结构和表面形貌。测试了类球状微米金刚石聚晶膜的场致电子发射特性。开启电场仅为0．55V／μm，在2．18V／μm的电场下，其场发射电、流密度高达11mA／cm^2。对类球状微米金刚石聚晶阵列形成机理和场发射机理进行了研究。