亚微米研究所需的超纯水

来源 :微电子学与计算机 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lg97060329

【摘要】

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<正> 许多年来VLSI 设计中的“十进规则”一直支配着允许的最大颗粒尺寸,例如对1.5μm 的设计,要求其颗粒不得大于0.15μm.Dr.Lou Sarto 说“为了消除致命的缺陷,随着半导体

【作者】

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Kear. KM 张桂樵

【出处】

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微电子学与计算机

【发表日期】

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1990年7期

【关键词】

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亚微米超纯水

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<正> 许多年来VLSI 设计中的“十进规则”一直支配着允许的最大颗粒尺寸,例如对1.5μm 的设计,要求其颗粒不得大于0.15μm.Dr.Lou Sarto 说“为了消除致命的缺陷,随着半导体器件线宽的缩小更有必要检测愈来愈小的粒子沾污”.但是,当超纯水中允许的粒子尺寸和其总数急剧下降时,粒子数的计数和对超纯水质的评价也日益困难.颗粒的来源众所周知,超纯水中所含的杂质有细菌、无机离子、总有机碳、SiO_2和微粒等.半导体器件加工的各步所使用

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