论文部分内容阅读
为了改善PtSiIRCCD器件的红外响应特性，需要添加长焦距微透镜阵列进行焦平面集光，本文提出了一种新的方法—曲率补偿法用于长焦距微透镜阵列的制作.扫描电子显微镜(SEM)显示微透镜阵列为表面极为平缓的方底拱形阵列，表面探针测试结果显示用曲率补偿法制作的微透镜阵列表面光滑，单元重复性好，其焦距可达到685.51μm.微透镜阵列器件与PtSiIRCCD器件在红外显微镜下对准胶合，显著改善了IRCCD器件的光响应特性.