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半导体制造的工艺与材料发展趋势
半导体制造的工艺与材料发展趋势
来源 :电子产品世界 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhaojie25
【摘 要】
:
应用将持续驱动芯片业的发展。摩尔定律将继续演进,但形式正发生变化,从注重特征尺寸的缩小,正转变到同时关注材料和结构创新。预计中国半导体市场10年内翻番,将带来半导体制
【作 者】
:
迎九
【机 构】
:
《电子产品世界》
【出 处】
:
电子产品世界
【发表日期】
:
2016年12期
【关键词】
:
晶圆
材料工程
设备
刻蚀
电子束
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应用将持续驱动芯片业的发展。摩尔定律将继续演进,但形式正发生变化,从注重特征尺寸的缩小,正转变到同时关注材料和结构创新。预计中国半导体市场10年内翻番,将带来半导体制造的兴盛。为了迎接10nm以下的挑战,应用材料公司近期推出了三款新产品。
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