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本文叙述热处理工艺对化学沉积金属膜电阻器电性能的影响。通过实验采用适用的热处理工艺,使电阻器的温度系数和潮湿系数得到明显改善。
热处理工艺对化学沉积金属膜电阻器电性能的影响
【摘 要】
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本文叙述热处理工艺对化学沉积金属膜电阻器电性能的影响。通过实验采用适用的热处理工艺,使电阻器的温度系数和潮湿系数得到明显改善。
【机 构】
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天津大学电子工程系,天津大学电子工程系
【出 处】
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电子元件与材料
【发表日期】
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1990年5期
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