精密衰减器的工艺试验

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【摘要】

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<正> 薄膜电阻是微波混合集成电路的重要组成部分,可减少外贴元件,从而减轻重量,缩小体积,提高电路的可靠性和稳定性。钽系薄膜电阻性能良好,在微波集成电路、薄膜电路中广泛

【作者】

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赵锡钦

【出处】

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现代雷达

【发表日期】

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1984年Z1期

【关键词】

：

同轴衰减器千兆赫工艺试验

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<正> 薄膜电阻是微波混合集成电路的重要组成部分,可减少外贴元件,从而减轻重量,缩小体积,提高电路的可靠性和稳定性。钽系薄膜电阻性能良好,在微波集成电路、薄膜电路中广泛应用。我们试制的衰减片所采用的薄膜电路工艺:在99％Al₂O₃陶瓷基片上溅射钽膜;用光刻法刻出钽电阻体;蒸发铬金膜;光刻电极（作为连接同轴衰减器的内外导体）;电镀加厚电极至5～8微米;在250℃下热老化;以阳极化调整电阻达到要求值。衰减片外型尺寸为19×8.5×0.55毫

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