【摘 要】
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针对工作台运动误差,提出了一种基于计算全息的无衍射光莫尔条纹三自由度测量方法。通过液晶空间光调制器(SLM)生成无衍射光,利用两束无衍射光干涉生成莫尔条纹。设计了无衍
【机 构】
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太阳能高效利用湖北省协同创新中心,湖北工业大学理学院,湖北工业大学机械工程学院现代制造质量工程湖北省重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金资助课题(51575164,51405143),湖北省教育厅重点项目(D20161406),太阳能高效利用湖北协同创新中心基金项目(HBSKFZD2014007)
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针对工作台运动误差,提出了一种基于计算全息的无衍射光莫尔条纹三自由度测量方法。通过液晶空间光调制器(SLM)生成无衍射光,利用两束无衍射光干涉生成莫尔条纹。设计了无衍射光莫尔条纹三自由度测量光路,建立了三自由度运动误差数学模型,并用几何分析法将三种运动误差(偏摆角、滚转角和俯仰角)进行分离。利用旋转台模拟不同大小的三自由度运动误差,带有误差信息的无衍射光和莫尔条纹图案分别由CCD1和CCD2接收。实验结果表明,通过光斑中心偏移量计算出的实际运动误差值接近理论值,测量误差不超过0.0104°,验证
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