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准分子激光器发展面临的主要任务是提高输出能量(或者,在激光核聚变的情况是提高峰值功率）和改进光束质量。新近为了达到这些目标而发展的一个方法是使用X光预电离拉长放电激励脉冲宽度。对于需要较短脉宽的核聚变，正在设计压缩脉宽的几种新技术。对其他应用，则通过在准分子激光介质中放大倍频和三倍频染料激光达到紫外窄带宽高能输出。