脉冲准分子激光淀积薄膜的实验研究

来源 :强激光与粒子束 | 被引量 : 0次 | 上传用户：evermissxp

【摘要】

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利用两种脉宽(30ns,500fs)的KrF准分子激光展开了淀积类金刚石薄膜的实验研究,并且成功地制备了大面积不含氢成分的HF-DLC薄膜,运用时空分辨的等离子体发射光谱诊断系统和离

【作者】

：

刘晶儒白婷姚东升李铁军王丽戈袁孝王晟叶锡生

【机构】

：

西北核技术研究所

【出处】

：

强激光与粒子束

【发表日期】

：

2002年5期

【关键词】

：

准分子激光实验研究脉冲激光淀积类金刚石薄膜非晶硅薄膜 Excimer lasersFilmsPlasmas

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利用两种脉宽(30ns,500fs)的KrF准分子激光展开了淀积类金刚石薄膜的实验研究,并且成功地制备了大面积不含氢成分的HF-DLC薄膜,运用时空分辨的等离子体发射光谱诊断系统和离子探针系统研究了等离子体特性对薄膜性能的影响.尝试了利用准分子激光制备非晶硅薄膜,研究了实验参数对非晶硅薄膜制备的影响,并分析了制备具有良好电学和光学性能的非晶硅薄膜的条件.

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