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利用微波等离子体化学气相沉积法在覆盖金属钛层的陶瓷衬底上，利用改变衬底温度方法沉积不同结构的碳膜。通过扫描电子显微镜、拉曼光谱对碳膜进行了分析测试，并研究了不同衬底温度下沉积的碳膜的场致电子发射特性。对于在衬底温度800℃时制备的碳膜，在电场3．3V／μm时，最大场发射电流密度达1mA／cm^2。