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超声电机是一种新型的微型电机，与传统的电磁电机相比它具有很多优点。基于这些优点超声电机可以在诸如定位、跟踪等方面有较好的应用。本文将超声电机作为于定位工作台的驱动部件，由两台行波型超声电机分别带动工作台的X、Y轴上的滚珠丝杠旋转，实现X-Y工作台的精确定位，定位精度可以达到2微米。
基于超声电机的X—Y精密定位工作台
【摘 要】
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超声电机是一种新型的微型电机，与传统的电磁电机相比它具有很多优点。基于这些优点超声电机可以在诸如定位、跟踪等方面有较好的应用。本文将超声电机作为于定位工作台的驱动
【机 构】
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南京航空航天大学精密驱动研究所,集美大学机械工程与自动化研究所
【出 处】
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机电技术
【发表日期】
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2007年1期
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