用网状阴极法在碳钢表面沉积氮化钽薄膜

来源 :材料保护 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ff927

【摘要】

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介绍了一种新型的在钢铁基体上制备氮化钽薄膜的方法 --网状阴极法.其设备简单、价格低廉.实验中发现,在各个参数配比合适的条件下,可制备出结构为fcc(面心立方)和hex(密排六

【作者】

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窦瑞芬田林海潘俊德陈飞赵晋香

【机构】

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太原理工大学表面工程研究所,太原理工大学表面工程研究所

【出处】

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材料保护

【发表日期】

：

2002年5期

【关键词】

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网状阴极法碳钢表面沉积氮化钽薄膜空心阴极效应 net|shape cathode sputtering hollow cathode effe

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介绍了一种新型的在钢铁基体上制备氮化钽薄膜的方法 --网状阴极法.其设备简单、价格低廉.实验中发现,在各个参数配比合适的条件下,可制备出结构为fcc(面心立方)和hex(密排六方)的氮化钽薄膜.薄膜较致密且均匀,与基体的结合好 .同时分析了在最佳工艺参数条件下合成氮化钽膜的成分、组织、表面、断口形貌和结合力等.该方法为氮化钽薄膜作为结构材料使用提供了一种新的途径.

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