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介绍了尾气过滤器的型式,分析探讨了多晶硅生产过程中如何对硅粉过滤器进行合理选型与过滤面积计算。
硅粉过滤器选型及计算
【摘 要】
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介绍了尾气过滤器的型式,分析探讨了多晶硅生产过程中如何对硅粉过滤器进行合理选型与过滤面积计算。
【机 构】
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陕西天宏硅材料有限责任公司
【出 处】
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机电信息
【发表日期】
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2011年30期
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