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n—ZnO/p—Si异质结J—V特性的实验研究
n—ZnO/p—Si异质结J—V特性的实验研究
来源 :光电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tlkj168
【摘 要】
:
本文首次报道n-ZnO/p-Si异质结J-V特性实验测量的初步结果--经退火处理的异质结反向饱和电流密度比未经退火的减少一个数量级,表明退火改善ZnO/Si晶格界面结构,提高了n-ZnO/p
【作 者】
:
林鸿生
马雷
付竹西
【机 构】
:
中国科学技术大学物理系
【出 处】
:
光电子技术
【发表日期】
:
2001年1期
【关键词】
:
异质结
退火处理
氧化锌
J-V特性
硅
半导体材料
heterojunction
reversesaturationcurrentdensity
anneal
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本文首次报道n-ZnO/p-Si异质结J-V特性实验测量的初步结果--经退火处理的异质结反向饱和电流密度比未经退火的减少一个数量级,表明退火改善ZnO/Si晶格界面结构,提高了n-ZnO/p-Si异质结性能.
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