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以硝酸锌溶液为沉积液，采用阴极电沉积技术在ITO导电玻璃基片上制备ZnO薄膜．分析了Zn（NO3）2体系ZnO的电化学沉积机理及反应过程，考察了沉积电位和Zn（NO3）2浓度对沉积过程、薄膜结构及其性能的影响结果表明：沉积电位和Zn（NO3）2浓度对薄膜形貌都有着显著的影响，沉积速率随沉积电位和Zn（NO3）2浓度的增加而增大；当沉积电位和Zn（NO3）2浓度较小时，薄膜粒径小，透光性相对较高．