【摘 要】
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随着２１世纪的到来，半导体工业也做好了向下一代片子尺寸———３００ｍｍ的过渡。新一代生产线具有提高生产效率的能力，它将支持摩尔定律，继续进入下一个十年。从很早开始，人们对３００ｍｍ工厂的复杂
【机 构】
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随着２１世纪的到来，半导体工业也做好了向下一代片子尺寸———３００ｍｍ的过渡。新一代生产线具有提高生产效率的能力，它将支持摩尔定律，继续进入下一个十年。从很早开始，人们对３００ｍｍ工厂的复杂性就有了认识，它将被新的自动化要求所复合。随着工艺开发进度的加
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