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对超纯水的水质要求和生产工艺进行阐述，分别介绍了MFEDI生产工艺、水质净化处理以及电化去离子系统在超纯水生产中的应用，分析了生产超纯水的民生价值，旨在推广联合产水工艺在超纯水生产中的应用，提高超纯水的生产质量。
18 MΩ·cm超纯水工艺研究
【摘 要】
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对超纯水的水质要求和生产工艺进行阐述，分别介绍了MFEDI生产工艺、水质净化处理以及电化去离子系统在超纯水生产中的应用，分析了生产超纯水的民生价值，旨在推广联合产水工艺在超纯水生产中的应用，提高超纯水的生产质量。
【机 构】
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信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司河北分公司
【出 处】
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工程建设与设计
【发表日期】
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2022年12期
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