【摘 要】
：
采用高精度光刻版、PECVD材料生长、反应离子刻蚀和端面8°角抛光等技术,设计并研制了1×32硅基二氧化硅阵列波导光栅.研制的AWG芯片,其相邻通道引起的通道串扰小于-28dB,非
【机 构】
：
中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,中国科学院上海微系统
论文部分内容阅读
采用高精度光刻版、PECVD材料生长、反应离子刻蚀和端面8°角抛光等技术,设计并研制了1×32硅基二氧化硅阵列波导光栅.研制的AWG芯片,其相邻通道引起的通道串扰小于-28dB,非相邻通道引入的串扰小于-35dB.通道的插入损耗在进行光纤耦合封装后进一步提高,平均损耗约为4.9dB,不均匀性约为1.72dB.
A high-precision lithography plate, PECVD material growth, reactive ion etching and end-face 8 ° angle polishing technology were used to design and fabricate a 1 × 32 silicon-based array waveguide grating.The AWG chip was fabricated with adjacent channels Of the channel crosstalk is less than -28dB, non-adjacent channel introduced crosstalk is less than -35dB. Channel insertion loss in the fiber coupling package further improved, the average loss of about 4.9dB, non-uniformity of about 1.72dB.
其他文献
安徽省阜阳地区地处安徽省淮北地区西部,经济上属于发展中地区,也是国家批准的乡镇企业制度建设试验区。从1987年在全国首次试行乡镇企业股份合作制以来,从点到面,稳步推广,
十八大以来,新一届党中央在反腐问题上,认识清醒、高度重视、行动果断,反腐成果可谓丰硕。尽管如此,腐败问题依旧是我国经济转型与社会发展的重大障碍。那么如何才能解决这一
各国在工业化进程中的共同规律,是当其具备了一定的工业经济基础之后,都经历过一个从增加生产要素的量到依靠科技进步提高生产要素的质的过程。这个从外延到内涵的转移一般
清末民初中华民族危亡的关头,以霍元甲为代表的一代武术家在擂台上用中华武术的博大精深狠狠回击了洋人的拳头,捍卫了中国人的尊严,成为一段流传千古的佳话。此后中华武术再
初冬的上海,乍寒还暖,浦江两岸飘逸着浓浓的艺术气息,由文化部、上海市政府共同主办的第四届全国歌剧、舞剧、音乐剧优秀剧目展演于11月5日在上海拉开帷幕。此次展演是从40
我国经济体制改革的目标是建立社会主义市场经济,这一新体制的建立可以说是一项庞大系统工程。在现有条件下我们应该从哪些方面着手构筑社会主义市场经济“大厦”呢?本文就
用应力应变和动态力学方法,系统地表征了Ln-PIR的粘弹行为及其对聚合物链结构、分子量和分子量分布的依赖性,建立了有关力学量与分子量和分子量分布之间的相互作用规律的数
公益拍卖、慈善义卖、志愿者招募、盲人生活体验……杭州市上城区清波街道的社区社会组织规模虽小,创意却多,它们用丰富多彩的形式向居民汇报自己的公益成果,值得借鉴。不久
近年来,奥斯汀抒情歌剧院开始在歌剧舞台占有一席之地,在得克萨斯上演的包括贾克·希吉(Jake Heggie)的《行尸走肉》和安德烈·普列文(André Previn)的《欲望号街车》等在
一、前言 烯烃-金属-卡宾络合物是烯烃易位,链烯烃环化和烯烃Ziegler-Natta聚合中重要的中间产物,Casey等人报道了η~2-烯烃钨卡宾络合物的合成及结构。我们用肉桂醛缩苯胺