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运用数字锁相技术研究了Pb（Zr, Ti）O3 （PZT）铁电薄膜的介电性能测试技术，随着薄膜微图形化尺寸的缩小，电路寄生参数的影响将逐渐变大并成为主导因素，从而严重影响薄膜介电性能测试的准确性。通过补偿方法，消除了电路寄生参数的影响，准确测量了薄膜的介电常数。通过对溶胶一凝胶制备的PZT薄膜样品的介电性能测试表明，上述补偿法可满足PZT铁电薄膜制备技术及微机电系统中器件设计对PZT微图形性能测试的要求。