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透明导电膜在电气及光学领域的应用日益广泛。近年来以掺杂Ｓｎ的Ｉｎ２Ｏ３开发和应用受到重视。用ＩＳＯ靶溅射法ＩＴＯ透明导电膜，由金属铟制取氧化粉末，后与氧化锡混合，压制烧结制出的相对密度在９５％的ＩＴＯ靶材。
透明导电膜及靶材
【摘 要】
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透明导电膜在电气及光学领域的应用日益广泛。近年来以掺杂Ｓｎ的Ｉｎ２Ｏ３开发和应用受到重视。用ＩＳＯ靶溅射法ＩＴＯ透明导电膜，由金属铟制取氧化粉末，后与氧化锡混合，压制烧结制出的相对密度在９５％的ＩＴＯ靶材
【机 构】
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北京有色金属研究总院
【出 处】
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电子元件与材料
【发表日期】
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1998年1期
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