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相信国内大部分薄膜业者都有通过人眼检测材料表面瑕疵的经历。研究表明:人工目测只能检侧出50%~75%缺陷,而当作业员开始疲倦的时候,由于注意力的下降,捡出的缺陷会更少。不仅如此,人工目检的质量标准也不一致,造成缺陷在灰色地带时,不能准确判出好坏。更有甚者,不同的作业员目检可以得到不同的结果。因为每个作业员的检测能力不同,使得某些缺陷可准确检出,但某些缺陷却无法分辨;或者是对于某个缺陷,有些作业员能够目测到,但有些作业员却不能。