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以微齿轮图形结构作为规模板，用约束刻蚀层技术对ＧａＡｓ样品表面进行了加工刻蚀，在有捕捉剂Ｈ３ＡｓＯ３存在的情况下，规则微齿轮图形能够很好地在样品表面复制，刻蚀结果与没有捕捉剂存在时的刻蚀结果做了比较，另外还测试了不同方法制得膜板的性能，初步探讨了电化学模板的制作工艺。
用规整膜板对砷化镓的三维微结构图形加工刻蚀
【摘 要】
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以微齿轮图形结构作为规模板，用约束刻蚀层技术对ＧａＡｓ样品表面进行了加工刻蚀，在有捕捉剂Ｈ３ＡｓＯ３存在的情况下，规则微齿轮图形能够很好地在样品表面复制，刻蚀结果与没有捕捉剂存在时的刻蚀结
【机 构】
：
厦门大学固体表面物理化学国家重点实验室,清华大学精神仪器系
【出 处】
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电化学
【发表日期】
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2000年3期
【基金项目】
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国家自然科学基金!重点项目 (2 98330 70 ) ,,国家重点基础研究发展规划项目! (G1 9990 331 0 7)
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