【摘 要】
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加热五氧化二磷升华,用氮气携带,与硅片反应制备P-N结.本实验采用的是四因素四水平的正交实验,硅片和五氧化二磷置于封闭的石英管加热炉内进行反应,制备出的P-N结用RTS-9型双
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加热五氧化二磷升华,用氮气携带,与硅片反应制备P-N结.本实验采用的是四因素四水平的正交实验,硅片和五氧化二磷置于封闭的石英管加热炉内进行反应,制备出的P-N结用RTS-9型双电测四探针测试仪测出方块电阻.分析了各个实验条件:反应时间t,硅片反应的温度,五氧化二磷升华温度和氮气的气流量对P-N结方块电阻的影响,反应时间t对方块电阻影响最大,其次是硅片的反应温度和氮气的气流量.
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