【摘 要】
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在劳伦斯·利弗莫尔实验室（LLL）的工作基础上,ILC公司已研究出一种去掉减反射、高反射和偏振膜层的工艺方法.由于用HF酸处理对人体有危险性,我们用氟化氢铵溶液（ammonium bifluo
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在劳伦斯·利弗莫尔实验室（LLL）的工作基础上,ILC公司已研究出一种去掉减反射、高反射和偏振膜层的工艺方法.由于用HF酸处理对人体有危险性,我们用氟化氢铵溶液（ammonium bifluoride solution）与各种抛光剂相结合.常用的基底玻璃BK-7是很软的,而且对化学作用很敏感,因此我们把抛光材料限制在等级为0.1微米或更细的Al2O3粉末.对于有的膜层,不必用抛光材料,仅用氟化氢铵溶液就足以去除.脱膜后的光洁表面被冲洗并中和,然后准备再镀.
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