论文部分内容阅读
在超精密机械中，摩擦副（特别是点、线接触的摩擦副）常处于几个到几十纳米厚的薄膜润滑状态。由于测试技术上的困难，这种状态的润滑机理尚未得到充分的认识。本支介绍了根据光干涉法测膜的基本原理提出的相对光强原理，并经特定光路设计研制的ＮＧＹ－２型的纳米级润滑膜厚度测量仪。该测量仪具有膜厚测量分辨率及精度高和抗外界光场变化能力强等优点。