Structural Investigation of InGaAs/InP Quantum Wire Array Using Triple-Axis X-ray Diffractometry

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：DK7531672

【摘要】

：

ＨｉｇｈｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎＸ－ｒａｙｄｉｆｒａｃｔｏｍｅｔｒｙｉｓａｖｅｒｙｉｍｐｏｒｔａｎｔａｎｄｉｎｄｉｓｐｅｎｓａｂｌｅｔｏｏｌｆｏｒｃｈａｒａｃｔｅｒｉｚａｔｉｏｎｏｆｅｐｉｔａｘｉａｌｌａｙｅｒｓ，ｈｅｔｅｒｏ－ｓｔｒｕｃｔｕｒａｌａｎｄ... HighresolutionX-raydifractometryisaveryimportantandindispensabletoolforcharacterizationofepitaxiallayers, hetero-structuralan

【出处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

1998年01期

【关键词】

：

Triple Axis

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