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在砷化镓工艺过程中，很多失效问题与表面的沾污有关，二次离子质谱分析是表面分析的有力手段，本文提供一种用二次离子质谱分析检测砷化镓表面钠、钾和铝的沾污水平的测试方法。
砷化镓抛光晶片表面沾污的二次离子质谱分析
【摘 要】
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在砷化镓工艺过程中，很多失效问题与表面的沾污有关，二次离子质谱分析是表面分析的有力手段，本文提供一种用二次离子质谱分析检测砷化镓表面钠、钾和铝的沾污水平的测试方法。
【机 构】
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电子材料研究所
【出 处】
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现代仪器
【发表日期】
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2007年5期
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