由于结构尺寸小,微电子机械系统(MEMS)的性能易受到加工工艺过程中各种不确定因素的影响,设计阶段存在着不确定性。本文针对一种典型的MEMS测力计进行不确定性分析,在考虑大挠度变形的条件下,基于完备椭圆积分解给出了测力计的载荷-位移模型,模型结果表明测力计在位移超过30μm后表现出显著的非线性。基于该模型,综合考虑材料参数和结构尺寸参数的随机性,研究了测力计不确定性分析的蒙特卡罗法,并给出了直接对蒙特卡罗抽样数据实施线性回归获得各参数敏度的计算方法,用于便捷地分析各参数对测力计不确定性的贡献。所得到的结果与文献吻合非常好,验证了该方法的正确性和有效性,并为测力计的鲁棒设计以及工艺改进提供参考。本文给出的系统不确定性分析方法具有通用性强、使用简单等优点,同时避免了对解析模型的依赖,证明其可应用于难以显式表达输入与输出关系的系统的不确定性分析。