铝对硅外延层的吸杂现象

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:typxh123
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
观察到,当用高纯铝丝(含铝99.99%)在外延基座表面划线作记号,再将外延片衬底放在该位置上,进行常规的SiCl_4-H_2还原法外延,然后将外延片用Sirtl腐蚀液显示,可看出:对应于基座上划线的位置,外延层中的小浅坑缺陷(亦被称为“雾点”、梨皮点”) It is observed that when the epitaxial substrate surface is marked with a high purity aluminum wire (containing 99.99% of aluminum), the epitaxial substrate is placed on the surface, the conventional SiCl 4 -H 2 reduction method is used for epitaxy, and then the epitaxial Sirtl films were used to reveal the etching solution. It can be seen that, corresponding to the scribe line on the susceptor, small pit defects in the epitaxial layer (also referred to as “fog point” and “pelt point”)
其他文献
摘要隐喻是一种认知模式和文化现象,它与思维和经验密不可分。英汉民族生活经验中的相似性使不同的语言形成了具有某些相似文化内涵的概念隐喻。本文从英汉抽象概念隐喻和具体概念隐喻两方面来分析英汉概念隐喻的文化共性。  关键词:认知 概念隐喻 文化共性  中图分类号:H006 文献标识码:A    一 概念隐喻    长久以来,隐喻一直被定义为一种修辞手段,看成是语言的一种偏离现象。美国认知语言学家莱考夫和
生病看医生的人偶尔会遇到这种情况:医生所下的医嘱和药品说明书的要求并不一致,弄得人无所适从——问医生吧,担心冒犯了对方,不利于自己后面的治疗;不问吧,心里写满了问号,很是为难。那这种情况到底应该怎样应对呢?  药品剂量遵医嘱:药品说明书上标明的用药剂量是针对整个人群而言的,而现实生活中每个人的生理和病理情况都不一样,医生通常会依据患者的年龄、体重、病情等调整个人的用药剂量,这是很正常的。这种情况下