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设计了一种高精度的接触扫描式测头，提出了4种测头弹性结构的设计方案。根据测头的测量范围、测量灵敏性、测量稳定性、各向同性的要求，选择了最优的设计结构。对选择的结构进行了参数设计、力学分析和有限元分析，分析结果表明设计的测头测量范围达到40μm×40μm×20μm，测量刚度小于0．5mN／μm，各向同性也符合设计要求。