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<正> 一、引言 与其他表面分析方法相比,二次离子质谱(简称SIMS)法具有这样的特点:对大部分元素有很高的探测灵敏度(<10~(-4)单层);对痕量组份能进行深度剖面分析,其深度分辨率≤50;可进行同位素分析和低原子序数(如氢、锂、铍等)的分析。因此,作为一个表面分析工具,该法正在得到愈来愈大的发展。 定量SIMS分析的障碍就在于难以将二