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随着精密和超精密加工技术的迅速发展，亚微米和纳米级的测量方法不断出现，本文对近年几种常见的微纳米计量技术的基本测量原理和方法作了简单的介绍。
微纳米尺寸测量技术
【摘 要】
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随着精密和超精密加工技术的迅速发展，亚微米和纳米级的测量方法不断出现，本文对近年几种常见的微纳米计量技术的基本测量原理和方法作了简单的介绍。
【机 构】
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哈尔滨工业大学精密工程研究所
【出 处】
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实用测试技术
【发表日期】
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1999年1期
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