磁浸没透镜的宽束曲轴像差理论

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【摘要】

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本文采用宽束曲轴电子光学理论，研究了磁浸没透镜的电子光学特性，得出了主轨迹方程和曲近轴轨迹方程，并利用数学软件Mathematica推导出了其全部二级像差系数.针对轴上磁场分布具

【作者】

：

程敏唐天同

【机构】

：

西安交通大学电子与信息工程学院

【出处】

：

电子学报

【发表日期】

：

2001年6期

【关键词】

：

曲轴磁浸没透镜电子光学像差 Aberrations Calculations Electromagnetic dispersion Electron be

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本文采用宽束曲轴电子光学理论，研究了磁浸没透镜的电子光学特性，得出了主轨迹方程和曲近轴轨迹方程，并利用数学软件Mathematica推导出了其全部二级像差系数.针对轴上磁场分布具有解析表达式的磁浸没透镜，文中还计算了它的曲轴二级像差，并给出了其孔径像差的弥散图形情况，从而得出了磁浸没透镜的特殊的电子光学像差特性.

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