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本文用蒙特卡罗的方法，针对基片温度，吸附粒子的迁移运动，基片与源之间的距离等因素，在计算机上对薄膜生长进行仿真模拟，同时研究了各种因素对粒子沉积成膜的影响，并对膜层的微观结构特性进行了分析和讨论。
薄膜微观结构的计算机模拟
【摘 要】
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本文用蒙特卡罗的方法，针对基片温度，吸附粒子的迁移运动，基片与源之间的距离等因素，在计算机上对薄膜生长进行仿真模拟，同时研究了各种因素对粒子沉积成膜的影响，并对膜层的微观结
【机 构】
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东南大学电子工程系
【出 处】
：
电子器件
【发表日期】
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1999年4期
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