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给出了针有表面纳米形貌检测需要而研制的一种实用型宽范围扫描隧道显微镜，扫描范围为４０×４０×１０μｍ＾３，配有一个放大倍数可调的光学显微镜帮助选择视场，可测量较大尺寸试件，实验表明，该ＳＴＭ所测图像清晰，使用方便，结构简单，适于产品化。
一种宽范围扫描隧道显微镜
【摘 要】
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给出了针有表面纳米形貌检测需要而研制的一种实用型宽范围扫描隧道显微镜，扫描范围为４０×４０×１０μｍ＾３，配有一个放大倍数可调的光学显微镜帮助选择视场，可测量较大尺寸试件，实验表
【机 构】
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华中理工大学,华中理工大学,武汉
【出 处】
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计量学报
【发表日期】
：
1996年3期
【基金项目】
：
国家自然科学基金
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