【摘 要】
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0引言rn由于环境污染问题,取代传统的基于引导的PZT自由引导压电材料得到了发展.其中CaBi4Ti4O15由于其多极性显示出铁和压电特性.在早期研究中[1-3], Ca-Bi-Ti合成醇盐的旋
【机 构】
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Dept.of Functional Machinery and Mechanics,Faculty of Textile Science and Engineering,Shinshu Univer
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0引言rn由于环境污染问题,取代传统的基于引导的PZT自由引导压电材料得到了发展.其中CaBi4Ti4O15由于其多极性显示出铁和压电特性.在早期研究中[1-3], Ca-Bi-Ti合成醇盐的旋转涂层薄膜作为一个前期方案,通过钙、铋的氧化物和锑的异丙氧化物在酒精和2-甲氧基乙氧基混合物中的化学反应已经很好地合成[1].这种方案是在Si(111)的硅晶片上旋转涂层,在130℃下干燥,然后再在350℃的空气中煅烧,最后再用电炉加温到700℃[3].d33是在显微镜下观察到的30 pm/V的压电回应力的特性[3].为了提高薄膜的压电特性,再煅烧薄膜使得金属相位从醇盐中充分分解.最后我们使用高温蒸汽熔炉代替电加热熔炉,因为更高的煅压力可以得到更好的高温蒸汽反应.本文描述了寻找最合适的煅烧条件来煅烧Si(111)CBTi144上硅晶片的初步报告.
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