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论述了一种高精度、快速的能量色散X 射线荧光（EDXRF）光谱自动分析方法，包括平滑、背底扣除和寻峰等计算过程。该方法不仅可用于单幅谱图的分析，也可用于大批量数据的批处理分析。对实验室测得的微区X 射线荧光光谱数据的测试结果表明，该方法同常用的高斯拟合方法相比，结果基本一致，但算法更加简单，能够有效地识别出弱峰。在当前主流配置计算机上利用该方法进行多文件连续分析时，单个文件的平均用时小于1 s，能够有效缩短数据分析时间、提高工作效率。