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【摘 要】
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数字微镜器件是一种新型的全数字化的平板显示器件，以其为主要组件的大屏幕投影显示技术获得了良好的市场反映。本文将具体介绍数字微镜器件的工作原理、像素结构、制作工艺及
【机 构】
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【出 处】
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光电子技术
【发表日期】
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2004年期
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