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普威特新一代涂层技术及设备
普威特新一代涂层技术及设备
来源 :工具技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:bill119
【摘 要】
:
普威特全新的PDAIII+HiPArc“等离子扩散电弧”+“高能脉冲电弧沉积”技术可形成高精度等离子区,沉积出特别致密细腻膜层。靶材利用率可达70%左右.工艺时间缩短了50%.
【出 处】
:
工具技术
【发表日期】
:
2018年4期
【关键词】
:
涂层技术
设备
电弧沉积
靶材利用率
等离子区
高能脉冲
离子扩散
高精度
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普威特全新的PDAIII+HiPArc“等离子扩散电弧”+“高能脉冲电弧沉积”技术可形成高精度等离子区,沉积出特别致密细腻膜层。靶材利用率可达70%左右.工艺时间缩短了50%.
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