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本文综述了ＬＩＧＡ技术，介绍了国内外对ＬＩＧＡ技术的改进与推广，并讨论了ＬＩＧＡ技术在传感技术中的应用。
LIGA技术研究与进展
【摘 要】
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本文综述了ＬＩＧＡ技术，介绍了国内外对ＬＩＧＡ技术的改进与推广，并讨论了ＬＩＧＡ技术在传感技术中的应用。
【机 构】
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华东交通大学机械系
【出 处】
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电子器件
【发表日期】
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1997年2期
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