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采用双CT结构以及光路追迹的优化光路系统,将光斑自动调整与三轴转台结合实现不同规格待测光栅的自动装调。实验结果表明,测量重复性误差小于2%。
平面光栅衍射效率测试系统
【摘 要】
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采用双CT结构以及光路追迹的优化光路系统,将光斑自动调整与三轴转台结合实现不同规格待测光栅的自动装调。实验结果表明,测量重复性误差小于2%。
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【出 处】
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长春工业大学学报：自然科学版
【发表日期】
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2018年5期
【基金项目】
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国家重点研发计划基金资助项目(2016YFF0103304),吉林省科技发展计划基金资助项目(20180201035GX),吉林省与中国科学院科技合作高技术产业化专项基金资助项目(2018SYHZ0014)
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