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研究了用PCVD法所制备的TiN，TiAlN和TiSiN硬质涂层的抗高温氧化性能及TiN涂层在双氧水介质中的抗氧化性能。结果表明，TiAlN，TiSiN涂层在空气中的抗高温氧化温度达700℃以上，TiN涂层可达600℃。在双氧水介质中，PCVD－TiN涂层仍具有较强的抗氧化能力，且优于PVD－TiN涂层。