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介绍了一种应用于脉冲多弧离子源镀膜过程的电子监控装置。用该装置定量检测冲多弧离子源的引弧效率，克服因停弧带来的膜厚误差的缺点，本文主要叙述了该装置的工作原理及关电路。
脉冲多弧离子源引弧效率的定量检测与过程控制
【摘 要】
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介绍了一种应用于脉冲多弧离子源镀膜过程的电子监控装置。用该装置定量检测冲多弧离子源的引弧效率，克服因停弧带来的膜厚误差的缺点，本文主要叙述了该装置的工作原理及关电路
【机 构】
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西安工业学院仪器工程系
【出 处】
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西安工业学院学报
【发表日期】
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1997年3期
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