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直流反应磁控溅射法制备了WO3薄膜，薄膜在723K纯N2气中被退火处理。热处理前WO3薄膜为无定形态，热处理后为多晶态。采用透射谱和单谐振子模型获得了薄膜的折射率和消光系数，得到退火前后谐振子能量分别为5．77和5．28eV，色散能为19．9和15．9eV。分析表明退火前后吸收边附近均表现出间接带隙的两段线性关系，间接带隙分别为3．14和2．96eV，声子能量为32和149meV，退火后带隙减小推测可能是由于退火薄膜晶化，氧填隙粒子导致的带尾态效应消失的结果。