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集成电路制造企业必须及其重视化学物品和特殊气体的处置规则。集成电路制造过程所涉及的化学品包括：指因生产、实验、研发过程所使用各类化学元素、化合物和混合物,无论其为天然的或人造的,包括气态和液态的化学品。Fab化学品审查委员会负责各厂区新化学物料使用和保管的审查,及化学品的SDS或MSDS安全技术文件。化学品从采购、接收、储存、搬运和使用各个环节制订处置规则。对于特殊化学气体必须制定特别的处置规则。企业还必须制定紧急应对处置预案并进行培训。