论文部分内容阅读
简述了近年来腐蚀抑制剂在Cu互连化学机械抛光(CMP)中的应用研究进展,分析了包括电化学、光谱学以及密度泛函理论与分子动力学计算等实验和理论手段在抑制机理研究中的应用.展望了Cu互连CMP中腐蚀抑制研究的趋势.
抑制剂在铜表面吸附机理的实验与理论研究进展
【摘 要】
：
简述了近年来腐蚀抑制剂在Cu互连化学机械抛光(CMP)中的应用研究进展,分析了包括电化学、光谱学以及密度泛函理论与分子动力学计算等实验和理论手段在抑制机理研究中的应用.展望了Cu互连CMP中腐蚀抑制研究的趋势.
【机 构】
：
河北工业大学电子信息工程学院,天津 300130;河北工业大学天津市电子材料与器件重点实验室,天津 300130
【出 处】
：
电镀与涂饰
【发表日期】
：
2021年21期
其他文献
目的 研究家庭式护理干预措施对老年慢性阻塞性肺疾病患者康复治疗的效果。方法 以对照分析法开展本研究，选取我院收治的68例老年慢性阻塞性肺疾病患者为研究对象，时间为2019年7月至2020年6月，使用随机数字表法将上述68例患者分为对照组与观察组，每组34例。对照组患者自愿接受常规护理方案，观察组使用家庭式护理干预措施，比较两组的治疗效果、并发症发生情况、圣乔治呼吸问卷（SGRQ）评分及肺功能指标。结果 护理后，观察组治疗总有效率（94.11%）明显高于对照组（73.53%）（P＜0.05）；观察组并发症发
目的 探讨肛门直肠手术后尿潴留的预防与护理要点。方法 选取2017年4月至2018年4月期间收治的120例肛门直肠手术患者为试验对象，运用奇偶数分组方式分为观察组和对照组，分别进行预防性护理指导、常规护理干预，各60例。比较两组的护理效果。结果 观察组HPLP评分、心理压力自评量表评分、反复实施诱导排尿率、尿潴留发生率、自主排尿时间、膀胱功能恢复分级I级率均优于对照组（P＜0.05）。结论 预防性护理指导用于肛门直肠手术患者中的效果显著，可有效预防尿潴留的发生，更好的保全患者的生殖功能和排尿功能。“,”O
目的 分析骨科大手术后下肢深静脉血栓形成的预防及临床护理。方法 选取2019年12月至2020年12月于大连大学附属中山医院进行骨科大手术的患者88例，将患者按照随机分配的方法分成两组，即对照组（44例）和试验组（44例），对照组患者给予普通护理，试验组患者采用临床综合护理，对比两组患者护理后的效果。结果 对照组患者进行护理后出现深静脉血栓的患者有17例（38.64%），试验组患者进行临床综合护理后出现深静脉血栓的患者有2例（4.54%），差异有统计学意义（P＜0.05）。试验组患者对护理人员的工作态度、
为探讨宰后滩羊肉成熟过程中风味前体物质变化的机理,采用同位素标记相对和绝对定量技术(isobaric tags for relative and absolute quantification,iTRAQ)结合多维液相色谱串联质谱(liquid chromatography-tandem mass spectrometry,LC-MS/MS)技术研究滩羊背最长肌在各成熟时间点(0、4d和8d)的蛋白质组学变化情况.结果表明:滩羊肉不同成熟期差异表达蛋白主要包括代谢酶、结构蛋白和应激蛋白.随着宰后成熟的进行
为了满足下一代飞机发动机燃料供给的需求,根据供油系统的性能指标,确定燃油泵结构型式,基于速度系数法计算燃油泵的主要结构参数,完成高速燃油泵水力设计,建立其三维模型并进行网格划分.借助ANSYS-CFX仿真软件,基于RNG k-ε湍流模型及Zwart空化模型,实现燃油泵非空化及空化状态下的内流场数值模拟,分析其外特性变化趋势及压力、速度分布规律并预测其空化性能.结果表明:高速燃油泵扬程、效率、功率随流量的变化符合离心泵性能变化规律,且在设计点附近达到最高效率82.76％;有效汽蚀余量较大时,燃油泵扬程基本不
目的 探讨优质护理干预对动静脉内痿血液透析患者生活质量的影响。方法 选取大连市第六人民医院收治的63例动静脉内痿血液透析患者作为研究对象，时间为2018年8月至2019年7月，采用随机综合平衡法，将研究对象划分A组（n=31，给予常规护理）和B组（n=32，给予优质护理干预），分别比较两组患者的生活质量评分、焦虑自评量表（SAS）和抑郁自评量表（SDS）评分。结果 B组患者的生活质量各维度评分均显著高于A组（P＜0.05）；干预后，B组患者的SAS、SDS评分均低于A组（P＜0.05）。结论 优质护理干预
为明确一氧化氮合成酶(nitric oxide synthase,NOS)抑制剂N-硝基-L-精氨酸甲酯盐酸盐(N-nitro-L-arginine methyl ester hydrochloride,L-NAME)对宰后藏羊肉品质的影响.以4～5岁去势甘南欧拉藏羊后腿肉为实验材料,分别用去离子水(对照组)和30、60、90 mmol/L的L-NAME(处理组)将肉样以料液比1∶1浸泡1 d,然后在4℃条件下成熟,测定并分析成熟期间(0、1、3、5、7 d)藏羊肉NOS活力、NO含量、pH值、色度、肌原
针对蓝宝石晶圆化学机械抛光(CMP)高去除速率和高抛光质量的要求,对比了分别采用单一粒径、连续粒径和混合粒径的SiO2磨料对蓝宝石晶圆的抛光效果.结果表明,将粒径为120 nm的40％(质量分数)硅溶胶与粒径为30 nm的20％(质量分数)硅溶胶按体积比8:2混合作为磨料对蓝宝石晶圆进行CMP时,去除速率最高,抛光后蓝宝石晶圆的表面粗糙度(Ra)低至0.158 nm,无明显的划痕、划伤等缺陷.
目的 分析2型糖尿病患者低血糖发生的原因，并提出护理干预措施。方法 选择我院2016年9月至2018年9月接诊的2型糖尿病患者800例。回顾性分析所有患者的临床资料，统计低血糖发生率，探讨2型糖尿病患者低血糖发生的原因，提出预防性护理干预措施。结果 经统计发现，在所有患者中发现有53例发生低血糖，低血糖发生率为6.63%；将低血糖组患者与非低血糖组患者进行比较，发现低血糖的发生主要受患者年龄、饮食习惯、及药物等因素的影响，将非低血糖组与低血糖组患者上述因素进行对比，差异有统计学意义（P＜0.05）；经有效