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介绍了激光直写技术的最新发展现状,系统的功能、结构和工作方式,对当前该系统存在的一些问题进行了归纳分析,探讨了系统的应用范围和今后的发展方向。
激光直写技术的研究现状及其进展
【摘 要】
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介绍了激光直写技术的最新发展现状,系统的功能、结构和工作方式,对当前该系统存在的一些问题进行了归纳分析,探讨了系统的应用范围和今后的发展方向。
【机 构】
：
苏州大学信息光学工程研究所
【出 处】
：
光电子技术与信息
【发表日期】
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2004年06期
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