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真空微电子学是９０年代国外迅速发展的一门新学科，本文综述了１９９５年的新进展。在场致发射阴极方面研究工作向深度和结合实际应用发展，研究工作十分活跃。Ｍｏ和ＳｉＦＥＡ都取得了新的进展。在微波管方面的应用，１０ＧＨｚ的速调四极管已在总装，技术上取得了突破性进展。美国和法国已建立数个ＦＥＤ的生产工厂，产品正走向市场。