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在化学机械抛光过程中，沟槽形状是抛光垫性能的重要影响因素之一，它会直接影响抛光效果。本文介绍了化学机械抛光垫上沟槽的基本形状及其对抛光效果的影响，以及不同复合形状的抛光垫沟槽及其对抛光效果的影响，并就研究中现存的主要问题提出展望。
化学机械抛光垫沟槽形状的研究及展望
【摘 要】
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在化学机械抛光过程中，沟槽形状是抛光垫性能的重要影响因素之一，它会直接影响抛光效果。本文介绍了化学机械抛光垫上沟槽的基本形状及其对抛光效果的影响，以及不同复合形状的抛
【机 构】
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浙江工业大学超精密加工研究中心
【出 处】
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新技术新工艺
【发表日期】
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2010年7期
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