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设计了基于微加工技术的微湿度传感器，介绍了湿度传感器基于差分电路原理的温度补偿方法，实验证明：制作的湿度传感器具有半对数线性，环境温度为10-40℃时，湿度传感器输出变化小于±4％RH。
具有环境温度自补偿功能的微湿度传感器设计
【摘 要】
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设计了基于微加工技术的微湿度传感器，介绍了湿度传感器基于差分电路原理的温度补偿方法，实验证明：制作的湿度传感器具有半对数线性，环境温度为10-40℃时，湿度传感器输出变化小于&
【机 构】
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国防科工局军工项目中心,哈尔滨工程大学
【出 处】
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传感器与微系统
【发表日期】
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2009年10期
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